南方财经全媒体记者丁莉 广州报道

3月11日上午，在广州市增城区广州增芯科技有限公司，承载着光刻机的车辆缓缓启动将设备运入厂房，这意味着12英寸先进智能传感器及特色工艺晶圆制造量产线项目（以下简称“增芯项目”）迎来关键节点，顺利进入调试投产准备阶段。

“光刻机相当于晶圆制造的照相机，通过曝光的方式将图像投射到硅片上，是整个晶圆制造中最关键的核心装备。”增芯科技总经理张亮介绍，项目引进的这台光刻机产能输出速率极高，可达到260片/小时，其资金投入占整个工厂建设投资的约25%，随着光刻机进厂，正式通线量产也指日可待。

据悉，增芯项目是省、市重点项目，一期总投资70亿元，打造了国内第一条12英寸智能传感器（MEMS）及特色工艺生产线，对广东集成电路产业发展意义重大。

项目自2022年底动工起，仅用9个月零6天完成自桩基启动至主厂房封顶建设，实现了“开工一年装机”，封顶至今仅5个月多月便迎来了生产线最核心的装备——光刻机，并步入设备安装调试阶段。张亮透露，增芯项目计划在今年第3季度正式通线量产，并继续推进产品良率提升和产能爬坡。

预计项目一期一阶段建成后，将具备年产24万片12英寸晶圆的生产能力，产品将主要应用于新能源智能汽车、超高清视频显示、高端装备、5G、人工智能、工业互联网等领域，能极大满足广州在相关优势产业领域对半导体及集成电路的庞大需求，加快补齐产业链短板，突破产业关键核心技术，提升产业链供应链稳定性和安全性。

近年来，增城积极融入粤港澳大湾区建设，高标准规划建设广州东部中心，加快构建以“芯显车”为主导的现代化产业体系，在培育发展集成电路产业方面，相继布局了增芯、越海等一批规模大、能级高、带动力强的骨干项目，覆盖了集成电路“四梁八柱”中制造、封测、装备、材料和平台等关键环节；不断加快建设中的高端电子信息新材料产业园、智能传感器产业园也推动着全产业链条完整集聚，助力广东打造国家集成电路产业发展“第三极”。

张亮认为，在此背景下，增芯项目能够更好辐射整个大湾区的集成电路芯片需求，并吸引更多产业链优质资源落户，有助于推动战略性新兴产业成链集群发展，助力增城构建广州半导体与集成电路“一核两极多点”产业格局中的重要两极之一，切实为广州东部中心成形起势提供强支撑、“芯”动力。